Ultra 2C FluxWash/Scrubber Equipment -12英寸晶圆，扩展缓冲卸载 -配备回流联锁的缓冲功能 -自动对中对齐 -配备闭路电视监视器 -真空检测系统 -配备平板显示器和键盘 -最高温度可达80℃ -双流体清洁机制 -2套cleaning chambers高压装置：可选 -碳氧化物混合工具：可选 -UPS系统：可选 -清洁室配备FFU，带有自动控制系统和显示界面 -300mm真空双搬运机器人