Flux Coater(integrated) FC-1C - With Reflow Type，可以做为EFEM Loader 使用。 - 选用双Finger，分别用来抓取涂布和未Flux coater的wafer，防止机械手臂污染。 - 选用单/双 Flux 涂布chamber腔体。 - 可以兼容多种wafer 8/12 Size 助焊剂涂布。 - RFID SECSGEM。 - 配备回流和卸载联锁