Mate 300TM Flux Coater EFEM Loader

-适用于所有类型的工艺工具和环境。

-超级可靠的编码器，3轴机器人。

-最多可维修3个工艺工具。

-接口端口：SMEMA和SECS/GEM接口。

-对齐器OCR：可选。

-符合S2安全防护标准。

-配备标准配件：电离棒。

-FOUP Opener：迷你环境。

-FOUP Pod Opener：兼容的传输站。

-300毫米自动化平台，适用于200毫米及以下的基板。 

-机器人配备了一系列末端执行器技术，包括真空、伯努利、边缘抓握等。